德國Leybold真空計常見(jiàn)種類(lèi)有下面這些：

　　1.熱傳導真空儀

　　利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類(lèi)真空儀中，以一定加熱電流通過(guò)裝有熱絲的規頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數，故熱絲的溫度隨壓強而變化。如用一附加的熱偶測量熱絲的溫度，則這種規頭稱(chēng)為熱偶規；如利用熱絲本身的電阻值來(lái)反映溫度，則稱(chēng)電阻規或皮喇尼規。氣體熱傳導只在低壓強 (P<100帕)下隨壓強變化，而低至10-1帕時(shí)氣體熱傳導又不是主要的散熱方式，因此熱傳導真空儀主要用于100～10-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。

　　2.皮拉尼真空儀

　　其工作原理是：真空度不同，單位體積內的空氣分子數就不同，對于正在發(fā)熱的電阻絲帶走熱量的能力（散熱能力）就不同，電阻絲溫度就不同，因為電阻絲的電阻率是溫度的函數，所以不同的真空度就引起了電阻率的不同，則電阻就不同，電流在電阻絲上的壓降就不同，根據電壓的變化就能換算出空氣壓強，也就是測量真空度。

　　3.電容薄膜真空儀

　　電容薄膜真空儀也是德國Leybold真空計的一種，它屬彈性元件真空儀，彈性薄膜將規管真空室分為兩個(gè)小室，即參考壓強室和測量室。測量低壓強 (P<100帕)時(shí)，參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時(shí)，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應改變，通過(guò)電容電橋可測量電容的變化從而確定相應壓強值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變，通常采用零位法測量，即在固定電極和薄膜之間加一直流電壓，利用靜電力補償薄膜受壓強差而產(chǎn)生的應力，使膜片保持零位。電容薄膜真空儀可直接測量氣體或蒸氣的壓強，測量值與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)、結構牢固、可經(jīng)受烘烤，如對不同壓強范圍采用不同規頭，可得到較高精度。電容薄膜真空儀可用于高純氣體監測、低真空精密測量和壓強控制，也可用作低真空測量的副標準。